フローチャートでダンマリ停止を防ごう!


 

左のフローチャートは熱CVD装置のプロセスを示します。

 

不活性ガスのバルブを開放しチャンバー内にガスを流入させて内部の酸素濃度が基準以下になれば、次の作業工程であるヒーターONに移ります。

 

ある処理をして(バルブ開)その結果(酸素濃度基準以下)を確認してから次のステップに移るということです。

 

具体的な内容はさておきフローチャートの形としてはよくあるパターンです。

 

装置の基本的な動きを明らかにするにはこれで十分です。

 

しかしながら、装置が正しい動きをしなかった場合、例えばチャンバーのパッキンが劣化して漏れを起こしている場合は内部の酸素濃度が基準以下に到達しません。

そのためにいつまでも結果(酸素濃度基準以下)を得ることができず装置はダンマリ停止状態に陥ります。



 

ある処理をして(バルブ開)その結果(酸素濃度基準以下)を確認してから次のステップに移る場合、結果の確認ができない場合にそなえてもう一段階判断を入れましょう。

 

そしてそこでエラーなのか?応答を待つのか?を判断分岐するようにします。

 

これをいれることでフローチャートの作成と同時にエラー/アラーム一覧表を作成することができます。

 

ここまでフローを作りこんだうえで制御プログラムを作成することで、ダマ停を防ぐことができます。


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