作業効率改善


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

熱CVD装置における反応管セット作業の改善事例です。

[従来]

  ・ガラスチャンバーの固定はフランジ構造

  [問題点]

  ・2人がかりで30分作業(トルク管理含む)

  ・反応管の上下が拘束されるため加熱反応中に割れることがある。

 

[改善例]

 ・フランジをやめて、反応管を差し込む構造に変更

 ・シール面を上下端面から左右側面に変更

 ・上側の保持器にハンドル式昇降機能を有す

 ・ハンドルにはトルクリミッターを付けて押し付けすぎを防止

  [効果]

  ・1人で5分以内の作業に省人化達成

  ・加熱反応時に割れる不具合が”ゼロ”となった。

 

 

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